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CVD管式炉 高温电炉

简要描述:CVD管式炉 高温电炉集真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2019-11-17
  • 访  问  量:191
  • 产品简介

CVD管式炉 高温电炉集真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。


CVD管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。CVD管式炉 高温电炉具有以下优势:
1、CVD管式炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。
2、CVD管式炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
3、可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;
4、耐火,保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;
5、CVD管式炉加热元件采用U型硅铝(碳)棒或*电阻丝。
CVD管式炉功能以及特点说明:
1、CVD管式炉内置两个温区,可以营造300℃内不同的温度梯度;
2、双温区控制系统采用PID方式控制,控温仪表中可以设置30段升降温程序,每个温区可以单独控温;
3、采用KF快速法兰密封,只需要一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能;
4、CVD管式炉炉盖可打开,可以实时观察烧结的物料状况,并能迅速降温,满足材料骤冷骤热的实验需要;
5、CVD管式炉炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于国内纤维材料;
6、加热元件采用内嵌式高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,经久耐用,高温度可达1200℃。
7、预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空系统、混气系统使用;
8、CVD管式炉预留了485转换接口,可通过我司软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出。
9、CVD管式炉上盖开启自动断电,超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠。

 

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