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  • 1200℃小型开启式真空管式炉
    1200℃小型开启式真空管式炉
    型号:
    浏览量:649

    1200℃小型开启式真空管式炉采用智能化程序控温系统,可控硅控制,控温精度高;双层壳体结构,设计合理,外形美观,结构紧凑;双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温度;真空级法兰密封,结合我司标准真空、混气系统,可抽真空通气氛。

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  • SK2-2-12QA小型开启式管式炉
    SK2-2-12QA小型开启式管式炉
    型号:SK2-2-12QA
    浏览量:353

    小型开启式管式炉在真空压力下,加在电感线圈的射频电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量,其本身温度很高,它与气体分子相碰撞,使气体分子活化。它们吸附在衬底上,并发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走,称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)。

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