型号：SK2-2-12QA

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小型开启式管式炉在真空压力下，加在电感线圈的射频电场，使反应室气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量，其本身温度很高，它与气体分子相碰撞，使气体分子活化。它们吸附在衬底上，并发生化学反应生成介质膜，副产物从衬底上解吸，随主气流由真空泵抽走，称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)。

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1400℃双温区精密真空管式炉采用智能化程序温控系统，可控硅控制，以优质硅碳棒为加热元件，采用智能化控温系统，可控硅控制，控温精度高；内置两个温区，可营造不同的温度梯度。

型号：SK2-2-14QA

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1400℃三温区管式炉采用智能化程序温控系统，可控硅控制，控温精度高；高真空级法兰密封，以优质硅碳棒为加热元件，采用智能化控温系统，可控硅控制，控温精度高

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CVD管式炉 高温电炉集真空管式炉，多通道气路系统和真空系统组成，性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作等特点。

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1200℃小型真空管式炉-管式高温炉采用智能化程序控温系统，可控硅控制，控温精度高；双层壳体结构，设计合理，外形美观，结构紧凑；双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温度。用于在真空或是气氛保护环境下的材料烧结试验。

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高温管式电阻炉主要用于陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。